anode (1) 썸네일형 리스트형 CCP 內 RF Plasma 해석 1. CCP 內 RF Plasma 해석 ① DC Glow Discharge : 전극이 도체였을 경우에만 가능 ② RF Glow Discharge : 전극이 부도체라도 관계없음. DC Glow 방전에 비해 이온화 효율이 높다. RF 전원을 사용해 전극의 극성을 매우 빠르게 변화시켜, 전극이 표면에 양이온들이 축척될 시간적 여유를 주지 않고 방전을 지속시킬 수 있다. 산업용 교류 방전에 사용되는 주파수는 13.56 MHz가 많이 사용된다. 이 주파수 영역이 고주파수 (Radio Frequency)이기 때문에 RF 글로우 방전이라고 부른다. 1-1. Self Bias RF Power를 인가하면 한쪽 전극이 +,-를 가변을 하기 시작합니다. 상대적으로 양전하에 비해, 음전하는 움직임이 빠르기 때문에(양전하가 질.. 이전 1 다음
